Metody otrzymywania dwutlenku krzemu

Warstwy Si0O2 otrzymuje się przez: utlenianie powierzchni krzemu; nanoszenie warstw tlenku krzemu na dowolne podłoża, np. Si, Ge, GaAs i inne. W przypadku otrzymywania warstw przez utlenianie wiązany jest krzem z podłoża, natomiast w przypadku nanoszenia warstw krzem jest dostarczany z zewnątrz, a podłoże nie bierze udziału w reakcji, dlatego też budowa i właściwości warstwy przejściowej Si?SiO2 są różne dla obu metod wytwarzania. Ponadto warstwy nanoszone są zwykle bardziej porowate od warstw SiO2 otrzymanych przez utlenianie termiczne. W celu poprawy właściwości warstwy dielektrycznej stosuje się niekiedy dodatkowe czynności już po wytworzeniu danej warstwy, jak np. wygrzewanie w atmosferze obojętnej , w atmosferze utleniającej, lub też wygrzewanie tlenku termicznego w atmosferze zawierającej pary związku fosforu. Najczęściej stosowaną metodą wytwarzania. warstw SiO2 jest termiczne utlenianie krzemu w tlenie lub w parze wodnej w temperaturze 900 … 1200°C. W celu poprawy właściwości elektrycznych termicznej warstwy dwutlenku krzemu proces utleniania prowadzi się coraz częściej w atmosferze tlenu z dodatkiem jonów chloru, przy czym najczęściej jest stosowany chlorowodór.

Przeczytaj także: Piece

Ponieważ piece pracują zwykle w klimatyzowanych pomieszczeniach, dla zapewnienia niskiej temperatury obudowy pieca, w sąsiedztwie zespołu grzejnika są zainstalowane wentylatory i wymienniki ciepła, stanowiące zespół chłodzenia powietrznego i wodnego pieca. O klasie i nowoczesności pieca decydują przede wszystkim układy regulacji temperatury współpracujące z czujnikami temperatury. Dla zapewnienia automatycznego utrzymywania zadanej temperatury w strefie stałej temperatury pieca, stosuje się automatyczne układy regulacji temperatury pracujące w układzie różnicowym. W celu uzyskania długiej i stabilnej strefy o równomiernej temperaturze, grzejnik pieca jest podzielony na trzy niezależni zasilanie sekcie. Regulacja temperatury odbywa się w systemie trójpunktowym z zastosowaniem co najmniej trzech termoelementów. Termometr środkowy kontroluje temperaturę sekcji środkowe grzejnika, termoelementy boczne kontrolują temperaturę w sekcjach bocznych w stosunku do aktualnej temperatury w sekcji środkowej. Termoelementy stanowić mogą termopary:

………
– Hale o konstrukcji stalowej. Poradnik projektanta
– VADEMECUM PIEKARZA Do nauki zawodu
– Wodociągi i kanalizacja zewnętrzna poradnik
– ZBIÓR RECEPTUR CIASTKARSKICH oraz podstawy technologii półproduktów i wyrobów
– Hologramy na legitymacje
– kurs na wózki widłowe gdów
– audyt iso kraków
– naklejka legitymacja
– iso 14001 szkolenie kraków
– kurs na podesty ruchome