Miernictwo warstw domieszkowych

W miernictwie warstw domieszkowanych można wyróżnić następujące dziedziny działalności pomiarowej: 1) kontrolę bieżącą, kontrolę rozszerzoną, miernictwo specjalne. Kontrolę bieżącą procesów dyfuzji, występujących w czasie wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych, prowadzi się zwykle, wykonując pomiary rezystancji powierzchniowej Rs na płytkach próbnych za pomocą sondy czteroostrzowej. W przypadku warstw implantowanych kontrola Rs nie jest konieczna z uwagi na dużą powtarzalność domieszkowania. Kontrolę rozszerzoną stosuje się przy wprowadzaniu nowych urządzeń, metod domieszkowania, a także przy wdrażaniu do produkcji nowych wyrobów i technologii. Wówczas pomiar Rs zwykle zostaje uzupełniony pomiarem głębokości złącza p-n, co przy założeniu kształtu rozkładu umożliwia oszacowanie rozkładu koncentracji domieszek. Pomiar Rs można także wykorzystać dla kontroli rozszerzonej procesu implantacji jonów, np. w celu doboru warunków implantacji oraz kolejnych procesów wysokotemperaturowych, w celu uzyskania żądanych parametrów warstwy domieszkowanej, co ma miejsce, gdy implantację stosuje się zamiast konwencjonalnego procesu predyfuzji. Do kontroli rozszerzonej należy również zaliczyć badania powtarzalności Rs i głębokości złącza p-n na partii płytek poddanej procesowi dyfuzji lub implantacji oraz badania jednorodności Rs w funkcji współrzędnych równoległych do powierzchni płytki. Ten ostatni problem pomiarowy nabrał dużego znaczenia w związku z wprowadzeniem do produkcji płytek o dużych średnicach. Badania takie mają na celu zwiększenie uzysku wyrobów, w szczególności układów scalonych o dużym stopniu scalenia.

Przeczytaj także: Metalizacja polaczen

W celu uzyskania dobrych właściwości elektrycznych kontaktu metalizacja wielowarstwowa?krzem na powierzchni Si w obszarach otworów kontaktowych wytwarza się cienką warstwę krzemku platyny.-Dobre rezultaty daje przeprowadzanie procesu osadzania platyny techniką rozpylania katodowego, z jednoczesnym trawieniem jonowym powierzchni czynnych otworów kontaktowych bezpośrednio przed osadzaniem próżniowym, w tym samym stanowisku próżniowym. W miarę możliwości technicznych zaleca się wykonywanie termicznego formowania kontaktu PtSi w próżni w tym samym stanowisku próżniowym bez zapowietrzania urządzenia i wyjmowania płytek krzemowych po operacjach trawienia jonowego powierzchni kontaktów i osadzania próżniowego platyny. Właściwości elektryczne kontaktu Si?PtSi zależą od koncentracji i typu domieszek w warstwie pod- kontaktowej, orientacji krystalograficznej podłoża, czystości powierzchni krzemu w otworze kontaktowym oraz od reakcji metalurgicznych zachodzących w czasie termicznego formowania krzemku platyny. Optymalizację technologii wytwarzania cienkiej warstwy PtSi przeprowadza się, stosując klasyczne pomiary rezystancji kontaktu Si?PtSi na strukturach testowych oraz wykorzystując w celu określenia morfologii warstw PtSi metody spektroskopii Augera. Prawidłowo uformowany kontakt omowy Si?PtSi powinien mieć rezystywność rzędu 10″11 Q ? m2.

………
– laserowe usuwanie owłosienia warszawa
– Poradnik blacharza Ratz
– gabloty stojące – centrum gablot
– Musztardówka
– gabloty zewnętrzne Paraga
– trener personalny kurs we wrocławiu
– tłumaczenia konsekutywne poznań
– Trójki pitagorejskie
– rozliczanie płacy minimalnej we francji 2016
– wynajem długoterminowy samochodów toruń

Starsze artykuły o nauce i szkole:

piątek, 24 czerwca, 2016Szkoła policealna – Słupsk
piątek, 18 sierpnia, 2017Wychowanie do życia w rodzinie Kraków
niedziela, 18 września, 2016Fordanserki
środa, 29 listopada, 2023Anteny 5 GHz: Klucz do Szybszego i Stabilniejszego Internetu
niedziela, 26 sierpnia, 20181kv Przejezdne podesty
sobota, 2 grudnia, 2017Korepetycje Kraków i Coaching Kraków
piątek, 18 sierpnia, 2017Coaching Kraków
piątek, 24 stycznia, 2020Poszukiwane szkoły zawodowe
czwartek, 23 lutego, 2017Nauka jazdy Lublin
sobota, 11 lutego, 2017Angielski przez skype
sobota, 2 grudnia, 2017Nauka gry na flecie Poznań i nauka gry na gitarze dla dzieci Poznań
piątek, 18 sierpnia, 2017Język angielski w edukacji wczesnoszkolnej Kraków

Zobacz inne wpisy:

Informacje sobota, 9 lipca, 2016 115

Ranking firm szkoleniowych

Firma szkoleniowa skrojona na miarę potrzeb Co zrobić, żeby szkolenie było skuteczne, a otrzymany certyfikat przełożył się na podniesienie kompetencji pracowników?? Wybierając szkolenie, najlepiej stworzyć
Szkolenia wtorek, 27 grudnia, 2016 94

Blog ogólnotematyczny

Wraz z nastaniem ery internetu przyszedł czas na internetowe pamiętniki, czyli blogi. Początkowo miały one służyć po prostu jako wirtualny pamiętnik – taki, w którym
Edukacja piątek, 24 stycznia, 2020 147

Szkoła marzeń

Szkoła marzeń Jak wybrać szkołę marzeń? To zdecydowanie trudne zadanie, ponieważ odpowiedź na to pytanie jest bardzo złożona. Warto namawiać dzieci i nastolatków, aby wybierali
Wiedza czwartek, 1 grudnia, 2016 77

Dobry prawnik Kraków

Polecanie sobie nawzajem przez znajomych czy rodzinę dobrych usługodawców jest praktyką powszechną. Bardzo często gdy poszukujemy jakiejś usługi i nie wiemy czym się kierować przy
Informacje wtorek, 27 grudnia, 2016 99

Kurs na wózki widłowe

Człowiek przez całe swoje życie ewoluuje, dojrzewa i uczy się. Nie jest tak, że po ukończeniu szkoły lub studiów możemy cale życie zbierać profity z
Szkoła piątek, 10 marca, 2017 110

Wybór szkoły wyższej

Ukończenie szkoły średniej i uzyskanie matury to jeszcze nie powinien być koniec edukacji. Matura, tak naprawdę powinna być dopiero początkiem, powinna być dopiero furtką do